半導體刻蝕工藝用刻蝕水冷機etch?chiller系統(tǒng)研究與智能溫控策略
262在半導體刻蝕工藝中,溫度的準確控制是保障刻蝕精度、均勻性及產(chǎn)品良率的關鍵因素之一??涛g水冷機etch?chiller通過熱力學原理與流體控制技術的結合,為刻蝕過程提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境,其作用可從工藝需求與設備運...
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