工業(yè)冷水機(jī)chiller介紹半導(dǎo)體制造工藝有哪些
468半導(dǎo)體用工業(yè)冷水機(jī)chiller對半導(dǎo)體設(shè)備使用的循環(huán)液的溫度、流量和壓力進(jìn)行準(zhǔn)確控制,以實現(xiàn)半導(dǎo)體工藝制程的控溫需求,是集成電路制造過程中的關(guān)鍵設(shè)備,溫控精度和溫控范圍要求高,應(yīng)用在刻蝕、薄膜沉積、涂膠...
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