如何維護(hù)化學(xué)氣相沉積冷卻chiller
518在薄膜沉積工藝中,Chiller(冷卻機(jī))的應(yīng)用影響比較大,因?yàn)闇?zhǔn)確的溫度控制可以確保薄膜的質(zhì)量和均勻性。以下是一些薄膜沉積工藝中Chiller的應(yīng)用案例: 案例一:物理氣相沉積(PVD)工藝?yán)鋮s 應(yīng)用描述:在...
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